TDH探针台+气浮光学隔振平台+2450源表

1.450*600mm光学面包板，高稳定性探针架，四维手动位移台，XY轴行程110mm，Z轴行程10mm，整体分辨率3微米，360°旋转可锁紧，带有快速抽拉样品台

2.0.7微米高精度探针调整座，XYZ轴行程分别是20mm+180°旋转+精密60°角度倾斜（可锁紧）

3.单筒金相显微镜，变倍比1:6.5，变倍范围0.7X-4.5X，集成双固定卡位设计升降器，高倍放大下图像无明显抖动，升降器精密调节，具备粗调+精调，最高分辨率1μm，白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗3W LED，色温5500K，照明均匀，显微相机：1920x1080高清CCD相机，支持拍照存储，自动白平衡；提供显微相机操作软件，支持电脑控制，含5X、10X、20X三种物镜，集成显微镜 XY 移动装置，行程 25×25mm，分辨率 3 微米

4.24英寸4K高清专业显示器，匹配显示器万向支架

5.4英寸真空吸附卡盘，匹配真空泵，有4个单独的吸附孔道，独立的真空吸附开关

6.吉时利2450源表

7.气浮光学隔振平台，台面尺寸800×1200mm，整体高度800mm，配有整体精密型气囊隔振支架，带有脚轮