近日,武汉理工大学顺利完成了对我司供应的探针台的验收工作。该探针台的引入,将为武汉理工大学在半导体器件测试、材料电性能分析等科研领域提供强有力的支持。
在本次合作中,济南创谱仪器有限公司探针台展现了卓越的性能。其台体底部采用蜂窝芯面包板,配备中间的三维调节样品架,XY 轴行程达110mm,Z 轴行程 10mm,整体分辨率可达 3微米,且能 360° 旋转并锁紧,满足了多样化样品测试的定位需求。
探针调整座调节精度达 10 微米,具备强大的测试功能,支持直流 DC 测试、晶圆测试、电阻电压测试、FET 测试以及太阳能电池测试等多种应用场景。在测量范围上,可实现 10pA/100fA(屏蔽箱环境) - 10A 的电流测量,最大电压可达 1400V,阻抗为 50 欧姆,XYZ 轴行程分别为 13mm,且采用可调磁性吸附固定方式,确保了探针在测试时的精准定位与稳定接触。标配的探针铜柱、1.5m 美国进口三同轴线缆及进口三同轴接口,进一步提升了信号传输的稳定性与准确性。
激光成像显微镜部分同样表现出色,左侧为相机接口,兼容 CCD 以及 CMOS 相机,中间为激光接口,集成高准直光纤接口,可以进行激光光源对接或其他光纤光源,白色LED照明:同轴照明系统,选用高亮度单颗3W LED,色温5500K,照明均匀,匹配手动切换 4孔物镜转盘,可以配置 4 个金相物镜,集成 XY 位移台以及精密升降台,行程 25mmX 25mmx50.8mm 升降,精度 3um匹配24寸4K高清显示器以及显示器万向支架为科研人员清晰观察测试细节提供了便利。
样品台台面为 4 英寸,4个吸附孔,材质为不锈钢。标配的进口无油真空泵,抽真空速率达 7L/min,搭配聚四氟材质旋转可锁紧装置,不仅能实现 360° 旋转,还具备分离锁紧功能,可与样品台直接连接固定。独特的背电极设计,能够引出背电极,拥有单独的吸附孔道与独立的真空吸附开关,极大地拓展了测试的灵活性与适用性。
在售后服务方面,济南创谱仪器承诺提供全方位的保障。服务网点覆盖当地,质保期限为 1 年,在接到报修后 48 小时内响应,确保设备在使用过程中出现的问题能够得到及时解决。
此次武汉理工大学对 探针台的成功验收,不仅体现了济南创谱仪器产品的高品质与高性能,也进一步巩固了双方在科研仪器领域的合作关系。未来,济南创谱仪器将继续秉持创新精神,为高校及科研机构提供更多优质、高效的仪器设备,助力科研事业不断向前发展。