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产品信息：
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
创谱仪器研发的高性价比手动探针台，广泛应用于集成电路、三极管、二极管及光电探测器的IV/CV参数等性能测试与表征，是光电科研中不可缺少的基本设备。
WZH系列高温探针台系统包含：光学成像部分，整体升降底座，高精度探针座，温控系统，真空吸附系统等；可应用于高温环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。是一款功能强大的高性能探针台。
产品特点：
★可测试Wafer尺寸：2英寸-4英寸（还可以升级更大尺寸）
★探针座和样品整体位移，非常方便客户对样品进行同步光电测试
★漏电流精度：100fA，最高可达10fA
★精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，精密位移，无回程差设计
★应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
★1微米以上电极/PAD使用
★模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块
★采用进口温控系统，优异的温度稳定性和控温均匀性
产品应用：
◆LD/LED/PD的光强/波长测试（集成我司光电仪器）
◆材料/器件的IV/CV等特性分析测试
◆晶圆分析测试
技术参数选型：
规格/参数 | ||||
型号 | WZH-4 | |||
外形尺寸（LWH） | 600mm×600mm×450mm | |||
电力需求 | 220VC,50-60HZ | |||
样品台 | 尺寸 | 4寸（圆形/方形）可以定制更大样品台 | ||
行程 | XY轴行程50mm；Z轴行程60mm（可以增加旋转功能） | |||
移动精度 | XY轴整体1μm；Z轴10μm | |||
背电极测试功能 | 可以引出电极 | |||
真空吸附 | 搭配进口无油真空泵，7L/min | |||
定制模块 | 可定制位移行程和精度 | |||
温控系统 | 温控范围 | 常温-300℃（常温-27K） | ||
控温精度 | ±0.1℃ | |||
控温稳定性 | ±1℃ | |||
控温均匀性 | ±3℃ | |||
探针调整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | ||
机械精度 | 1μm | |||
漏电精度 | 100fA/10fA | |||
安装方式 | 可调磁力吸附/真空吸附 | |||
接口形式 | 三同轴（Triax） | |||
光学成像 | 放大倍数 | 7-200倍（最大可升级到720倍） | ||
CCD像素 | 2000W | |||
中心距离 | 140mm，升降范围270mm，总高度350mm | |||
显示器 | 12寸显示器，将3-17mm的样品放大到整个屏幕（可升级大尺寸显微镜） | |||
可选附件 | 镀金卡盘 | 积分球测试选件 | 屏蔽箱 | |
隔振支架 | 导入光源支架 | 波长单色可调光纤光源（测光电流） | ||
显微镜调节手动/电动调节装置 | 激光切割显微镜 | 转接头配件 | ||
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好的使用效果和性价比 | ||||
产品简介 ：
WZH系列高温探针台系统包含：光学成像部分，整体升降底座，高精度探针座，温控系统，真空吸附系统等；可应用于高温环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。是一款功能强大的高性能探针台。
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