华北区 
|
◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试
◆整体尺寸小，方便携带，底部隔振地脚，提高测试稳定性
产品信息：
在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比。
技术参数：
◆样品台XYZR四维调节，XY行程根据样品台尺寸/晶圆尺寸而定，Z轴行程10mm，XYZ整体分辨率3μm，360°旋转粗调可锁紧
◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试
◆整体尺寸小，方便携带，底部隔振地脚，提高测试稳定性
◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）
◆探针采用进口交叉滚珠导轨/精密燕尾槽，线性移动，无回程差设计
◆1微米以上电极/PAD使用
◆U型探针架，可以放置多个探针座
◆多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；广泛用于科研院校以及公司！
规格参数：
型号 | Mini-4 | Mini-6 | |
电力需求 | 220VC,50-60HZ | ||
样品卡盘 | 卡盘尺寸 | 4英寸 | 6英寸 |
吸附孔 | 3个 | 4个 | |
样品固定方式 | 环形真空吸附（可定制多孔吸附） | ||
真空吸附 | 进口无油真空泵，7L/min | ||
背电极测试功能 | 可引出背电极 | ||
卡盘材质 | 不锈钢（可选紫铜镀金、紫铜镀镍） | ||
样品位移台 | 旋转行程 | 360°旋转可锁紧 | |
卡盘升降 | Z轴行程10mm | ||
X-Y行程 | 110mm×110mm | ||
移动精度 | 3μm | ||
控制方式 | 精密旋钮驱动 | ||
针座平台 | 外形尺寸 | U型（可根据要求定制） | |
材质 | 加厚铁磁不锈钢，表面镀铬处理，增加针座吸附力，超高平面度，保证测试精度 | ||
针座定位方式 | 磁力吸附（可以升级真空吸附） | ||
针座数量 | 最多可放置8个DC探针座/6个RF针座 | ||
成像方式 | 镜头规格
| 标配双目体式显微镜，可选（电子显微镜、金相显微镜、单筒金相显微镜、激光成像显微镜） | |
放大倍数 | 20-1000倍（搭配金相显微镜） | ||
CCD像素 | 2000W高清像素 | ||
显微镜位移行程 | XY行程25mm×25mm，分辨率3μm | ||
显示器 | 24寸高清显示器，HDMI高清接口 | ||
探针座规格 | X-Y-Z行程 | 13mm-13mm-13mm | |
机械精度 | 10μm/3μm/1μm/0.7μm（可升级电动） | ||
漏电精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） | ||
接口形式 | 香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口 | ||
安装方式 | 可调磁力吸附/真空吸附/螺丝固定安装 | ||
产品细节：
产品实物图：
产品简介 ：
◆样品台XYZR四维调节，XY行程根据样品台尺寸/晶圆尺寸而定，Z轴行程10mm，XYZ整体分辨率3μm，360°旋转粗调可锁紧◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试
◆整体尺寸小，方便携带，底部隔振地脚，提高测试稳定性
评价