华北区 
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在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统。
产品信息：
在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比。
技术参数：
◆结构紧凑，功能实用，高性价比
◆可用于12寸以内样品测试
◆1微米以上电极/PAD使用
◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜，可360°旋转和微调升降
◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）
◆精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计
◆应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
◆模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块
◆多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；
规格参数:
型号 | ZH-4 | ZH-6 | ZH-8 | ZH-12 | |
电力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||
样品卡盘 | 卡盘尺寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 |
吸附孔 | 3个 | 4个 | 5 | 5/6个 | |
样品固定方式 | 环形真空吸附（可定制多孔吸附） | ||||
真空吸附 | 进口无油真空泵，7L/min | ||||
背电极测试功能 | 可引出背电极 | ||||
卡盘材质 | 不锈钢（可选紫铜镀金、紫铜镀镍） | ||||
样品位移台 | 旋转行程 | 360°旋转可锁紧 | |||
卡盘升降 | Z轴行程60mm | ||||
X-Y行程 | 50mm×50mm | ||||
移动精度 | 10μm | ||||
控制方式 | 精密旋钮驱动 | ||||
针座平台 | 外形尺寸 | 300*150mm（可根据要求定制） | |||
材质 | 加厚铁磁不锈钢，表面镀铬处理，增加针座吸附力，超高平面度，保证测试精度 | ||||
针座定位方式 | 磁力吸附（可以升级真空吸附） | ||||
卡盘到平台距离 | 8mm（卡盘上表面与针座平台下表面） | ||||
针座数量 | 最多可放置6个DC探针座/4个RF针座 | ||||
成像方式 | 镜头规格
| 标配双目体式显微镜，可选（电子显微镜、金相显微镜、单筒金相显微镜、激光成像显微镜） | |||
放大倍数 | 20-1000倍（搭配金相显微镜） | ||||
CCD像素 | 2000W高清像素 | ||||
运动控制/调焦 | Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于 1μm（需定制） | ||||
显微镜位移行程 | XY行程25mm×25mm，分辨率3μm | ||||
显示器 | 24寸高清显示器，HDMI高清接口 | ||||
探针座规格 | X-Y-Z行程 | 13mm-13mm-13mm | |||
机械精度 | 10μm/3μm/1μm/0.7μm（可升级电动） | ||||
漏电精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） | ||||
接口形式 | 香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口 | ||||
安装方式 | 可调磁力吸附/真空吸附/螺丝固定安装 | ||||
产品细节:
产品实物图:
产品简介 ：
在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统。
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