华北区 
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产品信息：
◆ZR系列探针台包括探针台面板，探针架，高精度探针定位器，恒温样品台，样品位移系统，显微成像系统等组成，模块化设计，后期方便升级满足不同应用要求
◆最大可用于12寸以内样品测试
◆探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节
◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试
◆探针采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计
◆PID控温，可加热至300℃，控温精度±1℃，有效区域温度均匀性±5℃
◆1微米以上电极/PAD使用
◆加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座
◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式
◆多被用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等
规格参数：
型号 | ZH-4 | ZH-6 | ZH-8 | ZH-12 | |
电力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||
样品卡盘 | 卡盘尺寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 |
吸附孔 | 3个 | 4个 | 5 | 5/6个 | |
样品固定方式 | 环形真空吸附（可定制多孔吸附） | ||||
真空吸附 | 进口无油真空泵，7L/min | ||||
背电极测试功能 | 可引出背电极 | ||||
卡盘材质 | 不锈钢（可选紫铜镀金、紫铜镀镍） | ||||
加热模块 | 温度范围 | 最高达300℃ | |||
控制方法 | PID控温 | ||||
冷却方式 | 预留水冷装置（客户自备冷水机） | ||||
控温精度 | ±0.1℃ | ||||
温度均衡性 | 效区域温度均衡性±5℃ | ||||
平面度 | 0.05mm | ||||
功耗 | 500W/800W/1000W | ||||
样品位移台 | 旋转行程 | 360°旋转可锁紧 | |||
卡盘升降 | Z轴行程60mm | ||||
X-Y行程 | 50mm×50mm | ||||
移动精度 | 10μm | ||||
控制方式 | 精密旋钮驱动 | ||||
针座平台 | 外形尺寸 | 300*150mm（可根据要求定制） | |||
材质 | 加厚铁磁不锈钢，表面镀铬处理，增加针座吸附力，超高平面度，保证测试精度 | ||||
针座定位方式 | 磁力吸附（可以升级真空吸附） | ||||
针座数量 | 最多可放置6个DC探针座/4个RF针座 | ||||
成像方式 | 镜头规格
| 标配双目体式显微镜，可选（电子显微镜、金相显微镜、单筒金相显微镜、激光成像显微镜） | |||
放大倍数 | 20-1000倍（搭配金相显微镜） | ||||
CCD像素 | 2000W高清像素 | ||||
运动控制/调焦 | Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于 1μm（需定制） | ||||
显微镜位移行程 | XY行程25mm×25mm，分辨率3μm | ||||
显示器 | 24寸高清显示器，HDMI高清接口 | ||||
探针座规格 | X-Y-Z行程 | 13mm-13mm-13mm | |||
机械精度 | 10μm/3μm/1μm/0.7μm（可升级电动） | ||||
漏电精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） | ||||
接口形式 | 香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口 | ||||
安装方式 | 可调磁力吸附/真空吸附/螺丝固定安装 | ||||
产品细节：
产品实物图：
产品简介 ：
ZR系列探针台包括探针台面板，探针架，高精度探针定位器，恒温样品台，样品位移系统，显微成像系统等组成，模块化设计，后期方便升级满足不同应用要求
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