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TDR系列探针台包括探针台面板，探针架，高精度探针定位器，恒温样品台，样品位移系统，显微成像系统等组成，模块化设计，后期方便升级满足不同应用要求
产品信息：
◆TDR系列探针台包括探针台面板，探针架，高精度探针定位器，恒温样品台，样品位移系统，显微成像系统等组成，模块化设计，后期方便升级满足不同应用要求
◆最大可用于12寸以内样品测试
◆探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节
◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试
◆探针采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计
◆PID控温，可加热至300℃，控温精度±1℃，有效区域温度均匀性±5℃
◆1微米以上电极/PAD使用
◆加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座
◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式
◆多被用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等
参数选型
型号 | TDH-4 | TDH-6 | TDH-8 | TDH-12 | ||||
外形（长*宽*高/mm） | 450*600*750 | 450*600*750 | 500*750*800 | 650*1050*800 | ||||
电力需求 | 220VC,50-60HZ | |||||||
样品卡盘 | 卡盘尺寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 | |||
吸附孔 | 3个 | 4个 | 5 | 5/6个 | ||||
样品固定方式 | 环形真空吸附（可定制多孔吸附） | |||||||
真空吸附 | 进口无油真空泵，7L/min | |||||||
背电极测试功能 | 可引出背电极 | |||||||
加热模块 | PID控温，可加热至300℃，控温精度±0.1℃，有效区域温度均匀性±5℃ | |||||||
卡盘材质 | 紫铜镀镍（可选紫铜镀金） | |||||||
样品位移台 | 旋转行程 | 360°旋转（粗调）；±5°精密调节 | ||||||
卡盘升降 | Z轴行程10mm | |||||||
X-Y行程 | 4英寸×4英寸 | 6英寸×6英寸 | 8英寸×8英寸 | 12英寸×12英寸 | ||||
移动精度 | 3μm | |||||||
控制方式 | 精密旋钮驱动 | |||||||
针座平台 | 外形尺寸 | 300*150mm/U型尺寸 | ||||||
材质 | 加厚铁磁不锈钢，表面镀铬处理，增加针座吸附力，超高平面度，保证测试精度 | |||||||
针座定位方式 | 磁力吸附（可以升级真空吸附） | |||||||
卡盘到平台距离 | 8mm（卡盘上表面与针座平台下表面） | |||||||
针座数量 | 最多可放置6个DC探针座/4个RF针座 | 最多可放置10个DC探针座/6个RF针座 | ||||||
成像方式 | 显微镜规格
| 标配激光成像显微镜（可选配体式显微镜、单筒金相显微镜、金相显微镜） | ||||||
物镜选配 | 2X、5X、10X、20X、50X、100X | |||||||
接口分布 | 左侧为相机接口，兼容 CCD 以及 CMOS 相机；中间为激光接口，集 成高准直光纤接口，可以进行激光光源对接或其他光纤光源，例如 波长可调单色光源右侧为LED照明光源接口 | |||||||
CCD像素 | 2000W高清像素 | |||||||
运动控制/调焦 | Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于 1μm | |||||||
显微镜位移行程 | XY行程25mm*25mm，分辨率3μm | |||||||
显示器 | 24寸高清显示器，HDMI高清接口 | |||||||
探针座规格 | X-Y-Z行程 | 13mm-13mm-13mm | ||||||
机械精度 | 10μm/3μm/1μm/0.7μm（可升级电动） | |||||||
漏电精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） | |||||||
接口形式 | 香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口 | |||||||
安装方式 | 可调磁力吸附/真空吸附/螺丝固定安装 | |||||||
产品实物图：
产品简介 ：
TDR系列探针台包括探针台面板，探针架，高精度探针定位器，恒温样品台，样品位移系统，显微成像系统等组成，模块化设计，后期方便升级满足不同应用要求
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