真空腔体

直径8英寸，高度7英寸的304材质真空室；

上盖带4英寸石英观察窗；

下法兰带固定端，与光学平台连接；

直径为4英寸的紫铜材质镀金样品台，平整度5微米；

1个KF40抽真空排气口，3个CF16充气口，1个KF16电阻规接口，1个KF16放气口，1个DN63 BNC真空贯穿接口，2个冷却液接口，4个探针座接口,2个电源接口；一个光纤真空馈通接口

探针调整座

X轴采用精密研磨丝杆，零间隙运行，行程90mm，位移精度10μm；线性移动；

Y轴和Z轴采用精密研磨微分头，交叉滚珠导轨，行程25×25mm，精度3微米；

单轴直线度±2微米；

自重1.5Kg，负载5.5Kg；

同轴/三同轴探针夹具，漏电精度10pA/100fA，陶瓷结构；

探针臂采用304不锈钢结构，保证水平的准直度和刚性 ；

探针臂移动真空密封装置，配置可压缩50mm的焊接波纹管，保证寿命可靠运行100万次

气浮平台

创谱光学隔振平台专门设计的水平减震机构，隔振基础采用二层气囊隔离，空气隔离器利用空气阻尼技术在各个方向上都提供了优异的减振性能，减振器自身的自然振动频率非常低，防止由瞬变干扰产生的摇摆；

稳定轻松调节，稳定可靠结构十分紧凑；

平面度＜0.10mm/m 2 ；

固有频率垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz ；

振幅＜1.2um  ；

重复定位精度±0.05mm ；

显微控制系统

显微相机：4K高清CCD相机，支持拍照存储；支持HDMI相机直接输出到显示器；曝光时间0.4ms~999ms，自动白平衡；

集成双固定卡位设计升降器，高倍放大下图像无明显抖动，升降器精密调节，具备粗调+精调，最高分辨率1μm

显微镜单轴精密位移，行程100mm，精度3微米，匹配高稳定性显微镜万向支架

显示器：24寸4K全高清专业显示器，匹配显微镜万向支架

温控系统

控温系统采用高精度温控仪表配置固态继电器、热电偶形成闭环PID控温和自整定调节，智能化30段可编程控制，控温精准可达到±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃；

最高温度400℃，最低温度-142℃；

高温部件构成及低温部件构成；

真空获得系统

抽真空机械泵采用中韩合资型号TRP-36，9L/s抽速，自带防返油阀门，KF25接口，KF25排气口，配有油雾过滤器。极限真空度优于5Pa ；

配置KF40手动真空挡板阀，波纹管密封，性能  可靠，外观大气，手感好；放气阀配置KF16手动放气阀，体积小巧，性能可靠；所有真空管道采用不锈钢液压波纹管，具备很好的柔韧度，消除机械泵震动所带给探针台的影响；

真空测量配置国产成都睿宝电阻真空计，安装1个全金属KF16电阻规

配件

密封件1套，3微米针尖钨钢探针20支，探针臂陶瓷件2个等