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产品信息:
电动探针台是一种在半导体、光电等领域广泛应用的精密测试设备;通过电机驱动系统,实现探针台的 X、Y、Z 轴等方向的精确移动和定位,使探针能够准确地对准样品上的测试点。当探针与样品接触后,可将样品的电信号传输到外部的测量仪器,如示波器、万用表、半导体参数分析仪等,从而对样品的电学特性进行测量和分析,如电流、电压、电阻、电容、电感等参数;配合的是五相步进电机,可以运动手轮操作,也可以软件操作,实现自动控制,该系列均采用高精度电动控制,非常适合手套箱集成的操控。目前已在多个科研实验室投入使用。
技术参数:
◆模块化设计,可以搭建不同构件完成不同测试
◆探针台整体位移分辨率1.5μm,样品XYZR四维电动调节
◆兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试
◆大尺寸机身结构,增强操作舒适度。更大空间的针座平台,支持加载针卡,提升点针测试效率
◆探针座采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计
◆漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)
◆1微米以上电极/PAD使用
◆半圆形加宽探针架,可以放置6个DC探针座/4个RF探针座
◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能,可以选配多种位移行程以及驱动形式
◆多轴运动控制器,匹配三通道运动手轮组,交互界面可以同时显示每个轴的运行参数,操作直观,无需频繁的切换。既可以独立的操作某一个轴,也可以多个轴组合运动;支持二次开发
◆集成24寸4K显示器以及显示器万向支架,实时观测,也可集成笔记本电脑支架,方便放置笔记本电脑
◆多被用于科研院校搭建测试系统,例:材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等
参数选型:
型号 | TDH-D4 | TDH-D6 | TDH-D8 | TDH-D12 | ||||
样品卡盘 | 卡盘尺寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 | |||
吸附孔 | 4个 | 4个 | 5 | 5/6个 | ||||
样品固定方式 | 环形真空吸附(可定制多孔吸附) | |||||||
真空吸附 | 进口无油真空泵,7L/min | |||||||
背电极功能 | 可引出背电极 | |||||||
卡盘材质 | 不锈钢(可选紫铜镀金、紫铜镀镍) | |||||||
电动样品台 | X-Y轴电动调节行程 | 110*110mm/4英寸*4英寸 | 110*110mm/6英寸*6英寸 | 110*110mm/8英寸*8英寸 | 110*110mm/12英寸*12英寸 | |||
位移精度 | ±1.5μm | |||||||
R轴 | 360°旋转(粗调);±5°精密调节 | |||||||
Z轴 | 行程10mm | |||||||
运动控制器 | 匹配五相步进电机,具备机械限位以及零位 | |||||||
控制方式 | 软件、运动手动组 | |||||||
针座平台 | 外形尺寸 | 300*150mm/U型尺寸 | ||||||
材质 | 加厚铁磁不锈钢,表面镀铬处理,增加针座吸附力,超高平面度,保证测试精度 | |||||||
针座定位方式 | 磁力吸附(可以升级真空吸附) | |||||||
卡盘到平台距离 | 8mm(卡盘上表面与针座平台下表面) | |||||||
针座数量 | 最多可放置6个DC探针座/4个RF针座 | 最多可放置10个DC探针座/6个RF针座 | ||||||
成像方式 | 显微镜规格
| 标配金相显微镜(可选配体式显微镜、单筒金相显微镜、激光成像显微镜) | ||||||
物镜 | 标配2X、5X、10X、20X、50X(可选配100X) | |||||||
物镜转换器 | 手动款/电动款 | |||||||
放大倍数 | 20-500倍纯光学放大 | |||||||
CCD像素 | 2000W高清像素 | |||||||
运动控制/调焦 | Z 轴移动行程 50.8 mm,同轴旋钮调节,细调精度优于 1μm | |||||||
显微镜位移行程 | XY行程25mm*25mm,分辨率3μm/可升级为电动款 | |||||||
显示器 | 24寸4K高清显示器,HDMI高清接口 | |||||||
探针座规格 | X-Y-Z行程 | 13mm-13mm-13mm | ||||||
机械精度 | 10μm/3μm/1μm/0.7μm(可升级电动) | |||||||
漏电精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱时) | |||||||
接口形式 | 香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口 | |||||||
安装方式 | 可调磁力吸附/真空吸附/螺丝固定安装 |
产品简介 :
电动探针台是一种在半导体、光电等领域广泛应用的精密测试设备;通过电机驱动系统,实现探针台的 X、Y、Z 轴等方向的精确移动和定位,使探针能够准确地对准样品上的测试点。当探针与样品接触后,可将样品的电信号传输到外部的测量仪器,如示波器、万用表、半导体参数分析仪等,从而对样品的电学特性进行测量和分析,如电流、电压、电阻、电容、电感等参数;配合的是五相步进电机,可以运动手轮操作,也可以软件操作,实现自动控制,该系列均采用高精度电动控制,非常适合手套箱集成的操控。目前已在多个科研实验室投入使用。
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