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产品详情
TDH-D4电动探针台

电动探针台是一种在半导体、光电等领域广泛应用的精密测试设备;通过电机驱动系统,实现探针台的 X、Y、Z 轴等方向的精确移动和定位,使探针能够准确地对准样品上的测试点。当探针与样品接触后,可将样品的电信号传输到外部的测量仪器,如示波器、万用表、半导体参数分析仪等,从而对样品的电学特性进行测量和分析,如电流、电压、电阻、电容、电感等参数;配合的是五相步进电机,可以运动手轮操作,也可以软件操作,实现自动控制,该系列均采用高精度电动控制,非常适合手套箱集成的操控。目前已在多个科研实验室投入使用。

产品信息: 

电动探针台是一种在半导体、光电等领域广泛应用的精密测试设备;通过电机驱动系统,实现探针台的 X、Y、Z 轴等方向的精确移动和定位,使探针能够准确地对准样品上的测试点。当探针与样品接触后,可将样品的电信号传输到外部的测量仪器,如示波器、万用表、半导体参数分析仪等,从而对样品的电学特性进行测量和分析,如电流、电压、电阻、电容、电感等参数;配合的是五相步进电机,可以运动手轮操作,也可以软件操作,实现自动控制,该系列均采用高精度电动控制,非常适合手套箱集成的操控。目前已在多个科研实验室投入使用。 

技术参数:

◆模块化设计,可以搭建不同构件完成不同测试

◆探针台整体位移分辨率1.5μm,样品XYZR四维电动调节    

◆兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试

◆大尺寸机身结构,增强操作舒适度。更大空间的针座平台,支持加载针卡,提升点针测试效率

◆探针座采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计

◆漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)

◆1微米以上电极/PAD使用

◆半圆形加宽探针架,可以放置6个DC探针座/4个RF探针座

◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能,可以选配多种位移行程以及驱动形式

◆多轴运动控制器,匹配三通道运动手轮组,交互界面可以同时显示每个轴的运行参数,操作直观,无需频繁的切换。既可以独立的操作某一个轴,也可以多个轴组合运动;支持二次开发

◆集成24寸4K显示器以及显示器万向支架,实时观测,也可集成笔记本电脑支架,方便放置笔记本电脑

◆多被用于科研院校搭建测试系统,例:材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等

参数选型: 

型号

TDH-D4

TDH-D6

TDH-D8

TDH-D12

样品卡盘

卡盘尺寸

4英寸

6英寸

8英寸

12英寸

吸附孔

4个

4个

5

5/6个

样品固定方式

环形真空吸附(可定制多孔吸附)

真空吸附

进口无油真空泵,7L/min

背电极功能

可引出背电极

卡盘材质

不锈钢(可选紫铜镀金、紫铜镀镍)

电动样品台

X-Y轴电动调节行程

110*110mm/4英寸*4英寸

110*110mm/6英寸*6英寸

110*110mm/8英寸*8英寸

110*110mm/12英寸*12英寸

位移精度

±1.5μm

R轴

360°旋转(粗调);±5°精密调节

Z轴

行程10mm

运动控制器

匹配五相步进电机,具备机械限位以及零位

控制方式

软件、运动手动组

针座平台

外形尺寸

300*150mm/U型尺寸

材质

加厚铁磁不锈钢,表面镀铬处理,增加针座吸附力,超高平面度,保证测试精度

针座定位方式

磁力吸附(可以升级真空吸附)

卡盘到平台距离

8mm(卡盘上表面与针座平台下表面)

针座数量

最多可放置6个DC探针座/4个RF针座

最多可放置10个DC探针座/6个RF针座

成像方式

显微镜规格

 

标配金相显微镜(可选配体式显微镜、单筒金相显微镜、激光成像显微镜)

物镜

标配2X、5X、10X、20X、50X(可选配100X)

物镜转换器

手动款/电动款

放大倍数

20-500倍纯光学放大

CCD像素

2000W高清像素

运动控制/调焦

Z 轴移动行程 50.8 mm,同轴旋钮调节,细调精度优于 1μm

显微镜位移行程

XY行程25mm*25mm,分辨率3μm/可升级为电动款

显示器

24寸4K高清显示器,HDMI高清接口

探针座规格

X-Y-Z行程

13mm-13mm-13mm

机械精度

10μm/3μm/1μm/0.7μm(可升级电动)

漏电精度

10pA/100fA (配置屏蔽箱时)

接口形式

香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口

安装方式

可调磁力吸附/真空吸附/螺丝固定安装

实物图展示:

实物图1.jpg实物图2.jpg实物图3.jpg实物图4.jpg

产品简介 :

电动探针台是一种在半导体、光电等领域广泛应用的精密测试设备;通过电机驱动系统,实现探针台的 X、Y、Z 轴等方向的精确移动和定位,使探针能够准确地对准样品上的测试点。当探针与样品接触后,可将样品的电信号传输到外部的测量仪器,如示波器、万用表、半导体参数分析仪等,从而对样品的电学特性进行测量和分析,如电流、电压、电阻、电容、电感等参数;配合的是五相步进电机,可以运动手轮操作,也可以软件操作,实现自动控制,该系列均采用高精度电动控制,非常适合手套箱集成的操控。目前已在多个科研实验室投入使用。

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